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了解一下擴(kuò)散硅壓力傳感器的技術(shù)特點
發(fā)布時間： 2020-06-18 點擊次數(shù)： 2673次今天讓我們一起來了解一下擴(kuò)散硅壓力傳感器的技術(shù)特點
1、 靈敏度高
擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接囗電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機(jī)械動件損耗，因而分辯率*。
2、 精度高
擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體，無機(jī)械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢，形變小，因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態(tài)精度很高。
3、 可靠性高
擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級，膜片大位移量在來微米數(shù)量級，且無機(jī)械磨損，無疲勞，無老化。平均*時間長，性能穩(wěn)定，可靠性高。
4、頻響高
由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。
5、 度性能好
隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴(kuò)散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、計算機(jī)自動休整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/℃數(shù)量級，工作溫度也大幅度提高。
6、 抗電擊穿性能好
由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強(qiáng)磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。
7、 耐腐蝕性好
由于擴(kuò)散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時結(jié)構(gòu)工藝更易于實現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點，可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品，具有優(yōu)良的性能價格比。
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